扫描电镜（SEM/EDS）
killersadm
第1楼2010/07/15
资深专家建议： 但用大功率机械泵抽真空，不靠谱，一般说来，泵的标称极限真空是指不带负载情况下，泵口所能达到的真空度，而且需要较长的工作时间。同时，大功率真空泵估计机械振动肯定小不了，这点是电镜所不能容忍的，还有一点，就是-5 torr真空度下，处于高压最容易击穿的条件，尽量避免在这个状态下面工作。所以，电镜一般选择机械泵--扩散泵组合，或者直接选用涡轮分子泵达到高真空。
永远的菜鸟
第2楼2010/07/16
对，大功率效果可能能达到，但同时带来的噪声，振动对测试是致命的
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