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【求助】SBC-2型多功能试样表面处理机抽不到需要的真空度?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • SBC-2型多功能试样表面处理机抽30分钟才能勉强抽到可以喷金需要的真空度,好郁闷!
    怎样知道是真空泵有问题还是表面处理机有问题?急等高手解答!
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  • huangtao0307

    第1楼2010/07/20

    設備有問題吧﹐我們抽真空不會超過3分種啊﹐怎么會要30分鐘呢﹖

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  • dinel2004

    第2楼2010/07/20

    不知道,好郁闷!

    huangtao0307(huangtao0307) 发表:設備有問題吧﹐我們抽真空不會超過3分種啊﹐怎么會要30分鐘呢﹖

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  • fengyonghe

    第3楼2010/07/20

    估计是扩散泵需要换油了。

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