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溅射镀膜的靶材成分

  • fengyonghe
    2013/01/26
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 溅射镀膜的合金靶材有Au-pd和Pt-Pd,这两种合金的成分是多少?哪位知道。
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  • fengyonghe

    第1楼2013/01/27

    我查了好久也没查到,不过我还要查下去,不相信查不到。

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  • fengyonghe

    第2楼2013/01/30

    谁有Au-PD合金有木有兴趣能谱下!!!看和我查到的一样吗。

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  • 驰奔

    第3楼2013/01/30

    一般Au/Pd为80/20,
    Pd作用主要是限制Au原子结晶为大的金岛,镀膜颗粒更精细,连续成膜更薄

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  • fengyonghe

    第4楼2013/01/30

    谢谢,经常操作仪器的反倒没人回答。

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  • 178892023

    第5楼2013/04/17

    同一台溅射镀膜仪能使用不同材质的靶材吗?
    谢谢!

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第6楼2013/04/19

    99.5%au,0.5%pt
    自己做可以在金店做纯金的,直径57mm

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  • 姑苏一梦

    第7楼2013/04/26

    分别是8比2和6比4,Pt-Pd靶材喷镀的颗粒更小

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