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【求助】请教真空喷镀仪JEE-420的使用

扫描电镜(SEM/EDS)

  • rt
    以前只拿它喷碳,用碳棒的
    最近需要喷金,铝,钯之类的
    用钨篮的

    实验室也没人用过
    只能求助各位了

    那位大侠能提供一些参数参考一下
    还有操作中的注意事项

    多谢!
    +关注 私聊
  • ceisar

    第1楼2010/07/20

    操作类似喷碳一样,只不过要先将金注入钨篮,金丝直接揉成团塞入即可!
    但是喷镀后,建议即清理,如果您是EPMA的用户的话,这样会为以后喷碳造成麻烦!

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    +关注 私聊
  • papaverme

    第2楼2010/07/21

    多谢
    能告诉我通常的操作参数么?
    金属用量
    真空度
    电流
    时间

    谢谢

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