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【求助】SEM 薄膜与衬底界面处的问题

  • 傲剑小冰
    2010/07/29
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）


  • 最底下 那条黑线。。。。是衬底与薄膜的界面。。。为什么是黑的呢，还那么粗？ 大概是100-200nm， 是所有的界面处在SEM下都会有这样的现象，还是有其他相得生成呢？ 我的薄膜是非晶硅，衬底是单晶硅。。没有特意的长一层SIO2，
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  • 傲剑小冰

    第1楼2010/07/29

    唉。。压力好大啊。。很多东西都不太懂~。。理论跟实际还是有差距的。。。。这些数据都是前人留下的。。。居然都没分析 郁闷

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