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【谱图】电镜抽不上真空？

pbm811219

2010/09/20

扫描电镜（SEM/EDS）

电镜抽不上真空了，现象特征：1.电镜抽不上真空。2.分子泵不工作.3.未出现任何报警信号,
是不是分子泵的问题还是分子泵控制器有器.

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fengyonghe

第1楼2010/09/20

从新启动一次试试。

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huangtao0307

第2楼2010/09/21

我们刚碰到这个问题.查一下是不是加热器出问题了.
我们换了个加热器就好了

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jzhx68

第3楼2010/09/23

可能是分子泵的真空未抽到，用机械泵多抽点时间（可能较长），最好机械泵抽气时用极小的量通入干燥的氮气可以缩短时间。

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ventyxu

第48楼2010/09/25

分子泵(TMP)有加热器吗？
huangtao0307(huangtao0307) 发表:我们刚碰到这个问题.查一下是不是加热器出问题了.
我们换了个加热器就好了

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凡心点点

第49楼2010/09/26

请问一下，这个加热器是哪里部件的加热器？
huangtao0307(huangtao0307) 发表:我们刚碰到这个问题.查一下是不是加热器出问题了.
我们换了个加热器就好了

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huangtao0307

第50楼2010/09/27

不好意思，可能是我没说清，是扩散泵加热器.我们是日本电子的设备.
由于近期多次突然断电造成.
ventyxu(ventyxu) 发表:分子泵(TMP)有加热器吗？

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huangtao0307

第51楼2010/09/27

是扩散泵加热器
凡心点点(alvinyang32) 发表:请问一下，这个加热器是哪里部件的加热器？

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wenzhonghui

第52楼2010/10/06

是不是真空泵电源有问题

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rjjdfa3p

第53楼2010/10/09

有个预抽泵啊，看看他的情况如何，分子泵难得坏，被你碰到啦？

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canne_yswei

第54楼2010/10/12

是不是前级机械泵的真空没抽上去啊？

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