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【谱图】电镜抽不上真空？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 电镜抽不上真空了，现象特征：1.电镜抽不上真空。2.分子泵不工作.3.未出现任何报警信号,
    是不是分子泵的问题还是分子泵控制器有器.
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  • fengyonghe

    第1楼2010/09/20

    从新启动一次试试。

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  • huangtao0307

    第2楼2010/09/21

    我们刚碰到这个问题.查一下是不是加热器出问题了.
    我们换了个加热器就好了

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  • jzhx68

    第3楼2010/09/23

    可能是分子泵的真空未抽到，用机械泵多抽点时间（可能较长），最好机械泵抽气时用极小的量通入干燥的氮气可以缩短时间。

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  • ventyxu

    第48楼2010/09/25

    分子泵(TMP)有加热器吗？

    huangtao0307(huangtao0307) 发表:我们刚碰到这个问题.查一下是不是加热器出问题了.
    我们换了个加热器就好了

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  • 凡心点点

    第49楼2010/09/26

    请问一下，这个加热器是哪里部件的加热器？

    huangtao0307(huangtao0307) 发表:我们刚碰到这个问题.查一下是不是加热器出问题了.
    我们换了个加热器就好了

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  • huangtao0307

    第50楼2010/09/27

    不好意思，可能是我没说清，是扩散泵加热器.我们是日本电子的设备.
    由于近期多次突然断电造成.

    ventyxu(ventyxu) 发表:分子泵(TMP)有加热器吗？

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  • huangtao0307

    第51楼2010/09/27

    是扩散泵加热器

    凡心点点(alvinyang32) 发表:请问一下，这个加热器是哪里部件的加热器？

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  • wenzhonghui

    第52楼2010/10/06

    是不是真空泵电源有问题

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  • rjjdfa3p

    第53楼2010/10/09

    有个预抽泵啊，看看他的情况如何，分子泵难得坏，被你碰到啦？

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  • canne_yswei

    第54楼2010/10/12

    是不是前级机械泵的真空没抽上去啊？

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