多半是压力传感器有问题。function直至control,再enter,再function至zero ADJ压力传感器归零调节,先试试看吧
westdevil(westdevil) 发表:打开Purge阀了,且一开泵就报警。请以此排出以下原因。
1.重点检查 泵到Purge之间的管路连接,可以把泵到Purge上的空心螺钉拧下来,开泵,看有没有溶剂流出。安装后如果问题依旧,进行下一步。
2.拆开Purge阀,看压力传感器前面的FFK膜片有没有破损?腔内的异丙醇有没有泄露。如果有,找客服保修吧。如果没有,安装好后进行下一步。
3.压力传感器电缆从PCB板上拔掉,开机运行看检测器是否正常?如果正常。则压力传感器或板子的AD坏掉了,报修吧。