【求助】用SEM测量样品中小孔的深度？

毒菇九剑 2009/08/05

有专门的三维软件测深度的。

wangsheng16 2009/08/06

金刚石刀片切割机,O(∩_∩)O哈哈~ [quote]原文由 [B]dinel2004[/B] 发表: [quote]原文由 [B]drizzlemiao[/B] 发表: 如果允许破坏，就把样品切开看侧面。[/quote] 非常坚硬的陶瓷片，侧面很难切开，怎样才能切开？？？？[/quote]

zhfl729 2009/08/06

实在不能切开的话那只有倾斜了，但是应该是用所测的尺寸除以倾斜的角度余弦值吧。 [quote]原文由 [B]dinel2004[/B] 发表: 请问高手：如何用SEM测量出样品中小孔的深度？大约是30微米左右。 是把样品倾斜在样品座上，假定倾斜角为120度，用实际看到孔的最深处与样品表面之间的距离乘以60度角的余弦吗？ [/quote]

驰奔 2009/08/06

如果允许破坏，从断面观察测量最理想。 对于陶瓷来说比较坚硬，但很脆，锯断和磨样其实都不是想象的那么简单。 最简单的办法 举起铁榔头... 啪... 只一下！ 如果大小不理想，再啪啪啪... 找一块比较整齐的端口，试着看看！也许很满意！