扫描电镜分析
第1楼2010/10/13
楼主老师讲的很实际,客观。
我想就自己工作中一点体会,跟帖谈一点样品蒸金看法。
当样品颗粒尺寸或薄膜中起伏相对较大,比如超过100纳米时,适合喷金处理。
当样品颗粒尺寸大约在几纳米或一二十纳米或稍大些时,个人看,这时不适合蒸金。因为溅射、蒸发上的金颗粒大小一般就有几个纳米,若溅射时间稍长,纳米金颗粒连成岛状,则尺度更大。从而导致溅射的金颗粒将覆盖原有颗粒或薄膜表面的本来形貌。这时,就需要采用上面楼主老师说的,利用减速功能,改变加速电压,TV模式,抓拍等方法。
另外,蒸金时,当样品形貌比较复杂时,可以分几次溅射,用将样品倾斜不同的角度的方法进行溅射,以保证金膜更加连续。
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第7楼2021/02/18
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第8楼2021/02/18
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