这可能要请教下工程师了。我们用的是30*0.25*0.25的柱子,真空都是正常的,都能达到-004。
wshx(szx0127) 发表:今天换了根柱子,还用了新的贝斯培环,结果抽真空两小时后低真空2.4e+001,高真空2.4e-003,柱子是15m,0.25mm,0.1um,柱流量3,以前的柱子是10m,0.1mm,0.1um,柱流量0.8,以前高真空能到-004级别,这次虽说两个真空都在绿色区域,但总是很接近黄色区,而且高真空似乎上不去了,真诚求教大家,大家的2010的真空度多少,用这个柱子的情况下这个真空度正常吗?