【求助】安捷伦6890N-ECD报错

应助达人

压力和流量的实际值和设置值差异很大，EPC 失灵了吗？

应助达人

重新打开一个正常的方法看能不能恢复？

一个星期前就出现问题了，重启一下设备立马就好了，打800报修了，工程师让再观察观察，没想到现在重启设备自检都通不过。EPC的板子换了不超过三个月，个人感觉这次又是这个问题。另我们的设备是02年买的，双塔双柱，检测池都换了三遍了。

没用，现在软件已经完全无法控制和压力、流速有关的参数了，温度十分正常。

应助达人

EPC可能坏了。

1 ECD不能使用He气。
2 更换分流出口捕集阱解决压力高的问题。

我们ECD是用的氮气做载气的
不知道楼主的载气是氦气吗？
设置有没有错？

也是个错误，方法中是N2，打开工作站就显示的He。

显示的压力不是实际的，无法控制，估计是PCB板子问题，需要更换新的。