扫描电镜（SEM/EDS）
saintchen
第1楼2006/01/11
你切的样品是什么区域？可以先找找tungsten－plug区域，比较大，好找，再往下走，用BED看看衬度，可能会好找一点儿
奔跑的蜗牛
第2楼2006/01/24
抛光抛掉了,用划片机划开以后直接看就可以了
r51755
第3楼2006/01/25
请问您的样品需要检查那一层的形貌结构
yjliu
第4楼2006/01/26
恐怕用研磨抛光的方法行不通吧，除非有专门的芯片研磨抛光机。我只听说用FIB的。如果你成功了，可否分享一下经验？我们也想试试（但是我们只有普通的研磨机）。
第5楼2006/01/26
JEOL有次用户会展出了一个仪器叫CP的，对芯片抛光有独到之处，抛光效率挺高，就是比较贵可能要10万美金！可以参考参考。
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