【讨论】质谱仪为什么需要真空系统？怎么样实现真空系统？

所有的质谱都是用来检测离子的，而这些质谱的检测原理不外乎是利用离子在电场、磁场或电磁场中的运动特性来使具有不同质荷比的离子加以区分并检测。离子要在电场、磁场或电磁场中飞行一定的时间和空间，如果在这些时间和空间中存在大量的气体势必会使离子很快淬灭而达不到检测器。所以为了减少离子与背景气体的碰撞淬灭要抽真空使背景气体分子数量大大减少，以维持足够的离子平均自由程.

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基础知识不怕重复吧，或许对您来说这是一个比较简单的问题，但是初学者还是需要搞清楚的。
楼上说了一点增大离子的平均自由程，这也是一个方面，
一个大气压下(760Torr)，离子的平均自由程仅有0.0000001m，而压力在10-8 Torr时，平均自由程为5000m，对ICPMS质谱仪真空在10-6Torr

还有检测器也需要真空，不知道检测器需要的真空度要求比分析器部分高还是低？

ICPMS中如何实现真空？
ICP-MS采用的是三级动态真空系统，使真空逐级达到要求值：
1）采样锥与截取之间的第一级真空约10-2Pa，由机械泵维持；􀁺
2）离子透镜区为第二级真空（10-4Pa），由扩散泵或涡轮分子泵实现；
3）四极杆和检测器部分为第三级真空（10-6Pa），也由扩散泵或涡轮分子泵实现。􀁺
那对于其它无机质谱法来说它是一个封闭的体系，没有必要实现三级真空

对于微通道板检测器，一般的厂商都要求最低真空度达到10-4Pa，主要是看不同的质谱系统了。有的专用仪器进样量大，内部真空就是高不上去，不过千万别让微通道板在10-2Pa以下。