【讨论】放大一定倍数后样品上有一个黑框

应助达人

把聚焦框打出来，放大倍数聚焦，电子束会集中在聚焦框内，如果样品是易分解或者低溶点的物质，电子束被对其产生影响，留下一个黑框框，黑框的大小与放大倍数聚焦的视场相同。并不是所有的样品都会出现这种框。今天正好做了两个对比明显的样品，一个是氧化铝，另一个是氢氧化铝，都经过喷金处理。同样在10万倍下，前者无框，后者有框。

应助达人

而且拍照时实验者区分不出哪个是氧化铝哪个是氢氧化铝，我根据这个框和氢氧化铝在几百度
时易分解，推断1号是氧化铝，2号是氢氧化铝。样品取出后，他将
样品表面的金挂掉一点，确定了我的推断是正确的。（手机用不了编辑功能）

上面说的是一个原因，归根结底是试样表面污染所致，原因有试样本身的问题，如上面说的原因，也有真空系统不干净引起的，如真空泵油气。你的现象是否像下面的一样？

我遇到的问题当中，与Fengyonghe先生相类似的情况比较多，一般认为是烃类分子污染，污染来源也许是该样品，也可能是许久之前的样品，包括碳导电胶的大量使用。污染原理近似于化学气象沉积。非常影响观察，很不爽。。。

是的，感觉比这个还黑，黑乎乎的一个框。

fengyonghe(fengyonghe) 发表:上面说的是一个原因，归根结底是试样表面污染所致，原因有试样本身的问题，如上面说的原因，也有真空系统不干净引起的，如真空泵油气。你的现象是否像下面的一样？

应助达人

这种很难调，聚焦、消像散时间一长，黑框就出来了……有黑框就影响美观！

大家好，我是SEM新手，我也遇到黑框的问题，我做的是纳米级器件，我想问问大家这种污染对器件的性能是否会有影响？

对器件的影响主要是能谱探头若长期处在这种气氛中会有些影响，试样形成黑区是由于在这种气氛下电子束轰击样品产生高温所致。