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如何选择加速电压?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 对电镜刚入门,没有经验。请问各位应如何选择SEM的加速电压?和景深有关吗?
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  • 第1楼2005/11/19

    选择加速电压要根据样品的性质来考虑,对于不导电的样品或导电性差的样品应该是用较低的电压,对镀金的样品可以考虑用较大的加速电压,最好是先根据样品的特性选择大致的加速电压,再在小范围变换,找到最佳的加速电压。

    加速电压跟景深没有直接联系吧,景深主要跟WD、Spot Size有关。

    wuzl 发表:对电镜刚入门,没有经验。请问各位应如何选择SEM的加速电压?和景深有关吗?

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  • 第2楼2005/11/20

    感谢版主的指教。
    1)根据已选定电压的照片,怎样尝试改变加速电压,来优化照片质量?
    2)另一个问题是Hitach场发射电镜中没有,Spot Size项,是不是就是focus depth项?

    SeanWen 发表:选择加速电压要根据样品的性质来考虑,对于不导电的样品或导电性差的样品应该是用较低的电压,对镀金的样品可以考虑用较大的加速电压,最好是先根据样品的特性选择大致的加速电压,再在小范围变换,找到最佳的加速电压。

    加速电压跟景深没有直接联系吧,景深主要跟WD、Spot Size有关。

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  • 第3楼2005/11/21



    个人认为不可以一概而论,在乎于样品的性质(绝缘性等)、观察目的等有密切关系。

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  • 第4楼2005/11/21

    Spot Size是指电子束的尺寸,Focus Depth是焦深啊。 您以前有调过吗?会有什么效果?

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  • 第5楼2005/11/21

    扫描电镜的软件里有个示波器功能,初学者应该可以参考。
    因为改变加速电压,波形的锐度会改变,瑞度越大反映样品的细节越多,可以参考...

    wuzl 发表:对电镜刚入门,没有经验。请问各位应如何选择SEM的加速电压?和景深有关吗?

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  • 第6楼2005/11/21

    感谢!电镜刚安装完,我又是新手,实验室其它老师也清楚spot size在哪里调。我再试试,有问题再麻烦你。

    SeanWen 发表:Spot Size是指电子束的尺寸,Focus Depth是焦深啊。 您以前有调过吗?会有什么效果?

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  • 第7楼2005/11/21

    我看到过老电镜中有此功能。新电镜中还没有找到,我再试试。感谢!

    darkeye 发表:扫描电镜的软件里有个示波器功能,初学者应该可以参考。
    因为改变加速电压,波形的锐度会改变,瑞度越大反映样品的细节越多,可以参考...

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  • 第8楼2005/11/21

    感谢你的资料。我的薄膜材料样品表面很平,颗粒大小约50nm。目前所拍的图像(X180K)衬度太低。请问有好的建议吗?

    SeanWen 发表:

    个人认为不可以一概而论,在乎于样品的性质(绝缘性等)、观察目的等有密切关系。

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  • 第9楼2005/11/22

    能把照片帖上来吗?

    wuzl 发表: 感谢你的资料。我的薄膜材料样品表面很平,颗粒大小约50nm。目前所拍的图像(X180K)衬度太低。请问有好的建议吗?

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  • 第10楼2005/11/22

    你调好一幅图象,再、尝试着调一下加速电压不就行了吗?好就调不好就算了,别烧了灯丝就行了呀.[m02]

    一般的说,提高加速电压有利于调高倍图象,如果是低倍的话,就没有太大必要了.

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