如何去除透射样品腔长期累积的碳氢化合污染物？（透射等离子清洗机和等离子清洗透射样品杆的应用）

上两张原理图先：



扫描电镜上面配置的示意图：

在扫描电镜上见过这东西，透射上面能实现太好了

透射系统更担心污染问题带来的影响。

请问楼主，离子清洗过程中，以多大的能量轰击真空腔体内表面？

又见“驰”老师。。。

这个清洁本身属于Soft Clean

The Evactron SoftClean System is not a “plasma cleaner” in the usual sense. Traditional plasma cleaning systems sputter etch with energetic ion species, possibly damaging sensitive sample surfaces with heat and ion bombardment. The Evactron SoftClean System chemically etches surfaces using reactive gas radicals produced by the RF generated plasma. It preserves critical sample fine structure. The hydrocarbon contamination is broken down to form CO2, CO and H2O which are easily removed by the system vacuum pump.

如果能清洁TEM腔体呢就太好了，不知道是不是什么型号都可以使用

这杆子我以前在FEI的透射上见过，还算方便。

基本上主流的FEI,JEOL,日立,蔡司的透射都可以使用.

包括高端的TITAN, 和 JEOL的 RAM200 CS透射也都可以使用的

对比冷阱，他有什么优点和区别啊

冷阱只能吸附污染物不能去除, 而TEM WAND可以很轻松soft clean掉透射样品腔和样品杆上的污染物, 如何保持镜子系统的稳定性和干净度是发展的趋势.