扫描电镜（SEM/EDS）
bmwm3v6
第1楼2011/08/01
打错了是场发射扫描电镜
asahi42
第2楼2011/08/02
LZ如果选场发射的话，常规的场发射分辨率都在1nm，3nm是钨灯丝SEM的分辨率。。。Hitachi S-4300已经是很久以前的产品了，已停产，现在的当家场发射是SU-80X0系列（X=1至4）。
小M
第3楼2011/08/02
钨灯丝的分辨率可以达到3nm吗？
第4楼2011/08/02
指标上是那么写的么~真正3nm的细节肯定要用场发射看的~
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