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【原创】请教减速功能的使用方法

  • kapabulanka
    2007/11/09
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 近来要照一些绝缘样品,而且颗粒都比较小,不宜做喷金处理。想使用减速功能来拍照。不知使用什么样的减速电压比较合适。 样品的绝缘性很好,并且表面很平,使用高的减速电压;如果样品的表面比较粗糙,则使用低减速电压。这种方法正确吗?
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  • huangtao0307

    第1楼2007/11/12

    您说的应该是加速电压吧,如果您的样品不适合喷金又不导电可以降低加速电压来减少样品充电的影向.但跟你样品表面的粗糙度无关,低加速看的是比较表层的影像,高加速电压是比深的影像,你可以试试看用5或10kv来拍,取自己觉得满意的照片

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  • kapabulanka

    第2楼2007/11/13

    减速功能利用的是阴极透镜原理。在样品台上加上负电压,在电子束落向样品表面的过程中,在相反的电场力作用下而被减速。打在样品上的电子着陆电压等于加速电压减减速电压。
    在加速电压高时电子枪的亮度高,据说减速功能可已在低电压下获得较好的高电子枪的亮度,并且降低镜筒中的杂散磁场的影响。

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第4楼2007/11/15

    一看您就是日系的用户。
    高加速电压有利于提高分辨率,但是高电压对样品有损伤或者容易产生荷电效应,再有就是版主提到的信号产生深度。
    减速电压主要作用就是在分辨率和其他几者直接进行良好的结合!
    PS:并不是所有的厂商都用到了样品台偏压。

    kapabulanka 发表:减速功能利用的是阴极透镜原理。在样品台上加上负电压,在电子束落向样品表面的过程中,在相反的电场力作用下而被减速。打在样品上的电子着陆电压等于加速电压减减速电压。
    在加速电压高时电子枪的亮度高,据说减速功能可已在低电压下获得较好的高电子枪的亮度,并且降低镜筒中的杂散磁场的影响。

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  • lilaoshi

    第5楼2007/11/16

    1kV,WD<3mm,选择减速,就可以做了

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  • kapabulanka

    第6楼2007/11/16

    在1kv下,使用慢扫抓图,竟然还有荷电,横纹严重。使用积分抓图图像飘移严重效果不好。我想找一个合适的电压,在慢扫抓图没有荷电,这样图片的质量会好一些,但是找不到。有什么好办法呢?

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  • zemb

    第7楼2007/11/16

    我想,对于荷电效应来说,提高减速电压和降低加速电压效果应该是一样的,打到样品上的电子能量是一样的。
    减小探针电流应该是个有效的办法。

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  • 白水山石

    第8楼2007/11/17

    我用0.3KV、WD=2的减速拍过分子筛,没有荷电,用的是碳导电胶,分辨率可到100万。我觉得最好用TV模式。

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  • 白水山石

    第9楼2007/11/17

    写错了是10万倍

    tianzhen 发表:我用0.3KV、WD=2的减速拍过分子筛,没有荷电,用的是碳导电胶,分辨率可到100万。我觉得最好用TV模式。

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  • kapabulanka

    第10楼2007/11/17

    请问TV抓图使用多少桢。

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