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在做AR-XPS测试 需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程吗？

  • liuaqianqia
    2011/08/09
    • 私聊

XPS及其它能谱仪

  • AR-XPS中氧的平均自由程
    请教高手！
    在做AR-XPS测试的时候，需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程，有人知道是多少吗？

    background：我是想用AR-XPS来测试Si表面的native oxide厚度。需要用到一个公式，公式中有个未知量是“平均自由程”
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    +关注 私聊

  • 七月冰

    第1楼2011/08/31

    查一下文献吧，imfp
    好像应该叫做电子在SiO2中的非弹性散射平均自由程。

0
    +关注 私聊

  • feixiong5134

    第2楼2011/09/15

    O1S的cross section at 1487ev是3.09
    Si2p1和2p3分别是0.276和0.541

0
    +关注 私聊

  • feixiong5134

    第3楼2011/09/15

    我记得以前好像看文献做角分辨XPS的时候只要知道旋转角度就可以大概知道测试深度了，好像是和sin角度有关系，没必要用cross section

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