驰奔
第10楼2011/08/17
那我就斗胆说明一下市场上的主要台式扫描电镜
1、JEOL 尼康的 JCM-5000,
我认为这是一款简化版的台式扫描电镜
加速电压5kv,10kv,15kv三档, 有效放大倍数2万倍,分辨率在15nm左右。当然这个从电子光学分辨率看能满足楼主需要。
标准配置SE 探测器,可以接配BSE探测器,但是否有EDS接口,公开宣传资料没有显示,需要具体咨询, 估计问题不大。
再说另外一个关键指标样品仓大小或者样品台搜索范围。
两轴手动抽屉式样品台, X 35mm, Y 35mm
最大样品 直径70mm 高度50mm
样品托类型,(我的理解,样品台没有高度调节,因此样品的高度需要用不同的样品托和标准样品来标定,满足工作距离的设定需要)
从样品台的角度看,不要指望像用蔡司扫描电镜那样一次放入一堆,每次一个应该基本可以满足。
3、TM3000只有低真空背散射图像模式 可接配能谱。
其他配置和日本电子的JCM-5000基本相同,好像都一个师傅教出来的。
4、FEI 飞纳, 只有低真空背散射图像模式, 固定加速电压5kv, 设计上应该没考虑配能谱仪。但六硼化铈更高亮度电子枪,使得5kv低加速电压性能显著,分辨率可以和20KV钨灯丝媲美。