asahi42
第1楼2011/08/19
LZ啊,工程师在安装培训的时候这些都不说的么??
一、没这讲法,二次电子产额和两个主要因素有关,一个是加速电压,一个是样品表面凹凸形状。通俗来讲,在低加速电压下(<5kV),二次电子有一个发射高峰,然后加速电压越高,二次电子发射率越低,直至某一极值。样品表面某点切线和电子束交角越大,二次电子产额越大。
二、没固定的关系,理由见一。
三、不是,恰恰相反。因为聚光镜电流越小,束流越大。
四、是的。
五、是的。
六、可以调节。在日立的机器上,一般叫“Probe Current”;在FEI的机器上,一般叫“Spot Size”,别的没用过,不知道。。。
fengyonghe
第2楼2011/08/20
一、聚光镜电流越小,二次电子产额越高,是聚光镜电流对二次电子有排斥?
是不是问“束斑直径越大二次电子产额越高?是。是聚光镜电流对二次电子有排斥?绝对不是
二、灯丝电流应是越大,二次电子产额越高吧?
是不是问探针电流越大二次电子产额越高?是
三、聚光镜电流越小,像颗粒越细?。
是不是问探针电流越大,像素颗粒越细?这和第一个问题是一样的。。。
四、聚光镜电流越小,信号越强?。
这和第一个问题是一样的。。。
五、聚光镜电流越小,电子束流越大?。
这和第一个问题是一样的。。。
六、一个最基本的问题:聚光镜电流在电镜上如何调节?我们平时调节的只有灯丝的电流,好象没调节过聚光镜电流啊?
你调节的是探针电流,灯丝电流是加热灯丝的电流,只能调在欠饱和状态,不能任意调。
谢谢您的指导!