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扫描电镜使用体会 转帖

  • shamoxiongshi
    2011/09/08
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 做扫描电镜不算时间太长,中间由于就在操作上花功夫,所以理论功底可以说很浅,那么就自己做的过程中一些感受谈一下。

    由于是赶鸭子上架的那种,所以刚开始接触电镜,不是特别有兴趣研究,把说明书看了个遍,总算是对整个系统的操作和基本维护有了感觉。不过加上加班加点的做样品,也就慢慢觉得这是一个机械操作的活,没有多少技术含量,也就是中间找到一些比较新奇的形貌,会增加一些乐趣。但总体上的感觉就是拉工作距离,聚焦消象散,扫描成像,存储刻盘。或许在做EDX的mapping时才能有比较长的休息时间,其他的时间都被样品包围,几乎喘不过气来。

    这些训练还是有必要的。想来有以下几个方面:

    其一,软硬件结合操作,自动对焦消象散,自动对比度等等。但是自己动手去学习聚焦消象散的感觉,尤其是高倍率照片的拍摄,尤其需要自己的感受,这种训练在我以后从事TEM操作的过程中受益不少,因为感觉只能靠经验得到,这就大大降低了我学习TEM高倍率消象散的难度。

    其二,多看样品对于了解一些基本的形貌特征有了深刻的印象,基本上来的样品一说是什么材料就能知道找什么样的形貌特征,这也对以后的TEM的选择样品和形貌有了有利的促进。

    其三,处理样品观测中间出现的特殊情况,比如样品是易损样品,那么要注意物镜光阑被污染,扫描过程中样品形貌的突变,这时候要调整工作距离到15 mm左右,并且要降低电压,扫描时间要缩短等等。或者样品的导电性能不佳,就要调节电压到小于5kv,才能达到消电荷的目的,还有一些很细的粉末样品,就要多喷金,虽然有些影响形貌,但总体上能减少对物镜光阑的污染。另外,对碳纳米管的观测,也有比较好的方法,一般来说很细的纳米碳管是无法用钨灯丝电镜看清楚的,但是可以通过降低电压,在硅片上的碳纳米管就因为导电性能好而信号加强,从而得到比较好的照片(此方法为听一美国教授经验所得,未曾实践,但颇有道理)。

    其四,可以让自己处理样品更快,更合理,比如学会了一个8mm样品台上放置16-20个样品,侧面观测的时候粘结技巧,塑料断面的取样和粘结技巧等等。

    其五,扫描电镜是一个精密的仪器,操作过程中需要胆大心细的运作才能有很好的运行效率。比如更换灯丝,要求换灯丝的时候要耐心,再耐心,才能保证更换的质量和灯丝的寿命。而耐心,我觉得是电镜工作者必须具有的基本素质,这在透射电镜的使用中更是如此。

    看看自己讲的几个方面,不外乎两个字:经验。这个是做大型仪器的人财富,是今后提高的基础所在。

    从我们整个系统来看,分辨率不是很高,因为灯丝的限制,所以最佳放大倍数只能在20000-40000倍之间,那么我们的样品就集中在50 nm以上的样品观测。但由于同学和老师的指点加上我们自己的努力,扫描电镜成为一个对合适样品精做,对较细样品过滤到透射电镜去做的过滤网和中转站。

    但也有遗憾,比如背散射探头,至今没用过几次,虽然可以用平时不常用来推托为购买时的失误,但毕竟也有自己没有好好研究使用技巧的原因,还有加热台,也因为操作时间长而无法得以很好的利用,算是几个遗憾之一吧。
    +关注 私聊
  • 小M

    第1楼2011/09/08

    应助达人

    经历相似,颇有感受

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    +关注 私聊
  • shamoxiongshi

    第2楼2011/09/09

    小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:经历相似,颇有感受

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