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多晶硅的杂质分析（ICP-OES)

ICP光谱

  • 大家一般是怎样做多晶硅里的杂质分析的（B,P,Al，Fe）等，杂质含量 1ppm左右
相关话题
    +关注 私聊

  • lilongfei14

    第1楼2011/09/30

    用氢氟酸赶走硅就可以了

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  • maerbing

    第2楼2011/09/30

    B容易损失，而且杂质含量较低，SiF4的基体好像对很多元素的测试有挺大的影响

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  • maerbing

    第3楼2011/09/30

    B容易损失，而且杂质含量较低，SiF4的基体好像对很多元素的测试有挺大的影响

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  • maerbing

    第5楼2011/09/30

    不好意思，网络的问题，多发了几条

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  • sarge

    第6楼2011/10/01

    混酸分解，B加..（早起忘了，以后想起来再发）在相对低点温度搞下，慢慢蒸发

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  • 该帖子已被版主-lilongfei14加2积分，加2经验;加分理由:国庆节快乐
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