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如何分析SEM得到的图片

扫描电镜（SEM/EDS）


  • 如上图所示，我想对一个样品看它的截面（我首先对衬底上长的一层物质进行刻蚀（大致为500nm，然后想用SEM观察这个刻蚀界面的形状）。于是，我首先以cross section的方式放好样品，而后讲样品旋转30°。最后得到上面的图样（左）。由于我是初次接触SEM故而我不能由图中分析出界面的粗糙与否（因为这里涉及到旋转了30°）。请大家给出你们的看法，这个图片该怎么分析？也请有经验的大师推荐一些分析SEM图片的资料。谢谢!
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  • 驰奔

    第2楼2012/06/19

    照片放大倍数大约为85000倍左右，宽度代表的样品区域大约为 1500nm。
    断面做的不够理想，似乎表面那层膜盖在剖面上！图像调节的不够清晰。

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  • 小M

    第3楼2012/06/20

    应助达人

    截面不粗糙，上下两个表面粗糙

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  • xx2882xx

    第4楼2012/06/21

    A到B之间的粗黑线是什么？

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  • littlebean

    第5楼2012/07/09

    sub是啥材料的？镀的膜又是啥材料呢？5000A不是很薄了。

    如果你想测试刻蚀后的表面粗糙度的话，我知道AFM可以测。

    想观察截面的话，一定要掰好，因为掰断的原因，形成的截面测试出来的数据会比实际值偏大一点点。

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  • v2970862

    第7楼2015/10/15

    大家好，11月9日在北京举办电镜的分析技术及应用的培训，详情咨询：010-57146768或Q1846223526

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  • cvbs11

    第8楼2015/10/21

    AFM是可以测表面粗糙度的，但是要有基面参照才可以

    littlebean(littlebean) 发表:sub是啥材料的？镀的膜又是啥材料呢？5000A不是很薄了。

    如果你想测试刻蚀后的表面粗糙度的话，我知道AFM可以测。

    想观察截面的话，一定要掰好，因为掰断的原因，形成的截面测试出来的数据会比实际值偏大一点点。

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