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求文獻五篇

文献检索－互助

  • 【序號】：1

    【作者】：Qi-hua Fan, Xiao-hong Chen, Ying Zhang

    【篇名】：Computer simulation of film thickness distribution in symmetrical magnet magnetron sputtering

    【期刊】：Vacuum

    【全文連接】：http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0042207X94000514

    【序號】：2

    【作者】：Xiao‐hong Chen, Qi‐hua Fan, Hong‐you Chen, and Ying Zhang

    【篇名】：Symmetrical magnet magnetron sputtering method for improving target utilization

    【期刊】：Review of Scientific Instruments

    【全文連接】：http://rsi.aip.org/resource/1/rsinak/v65/i8/p2693_s1?isAuthorized=no

    【序號】：3

    【作者】：Qihua Fan, Yuan Hong, Hongyou Chen, Xiahong Chen

    【篇名】：Asymmetricalmagnetmagnetron-sputteringmethod for filmdeposition

    【期刊】： Thin Solid Films

    【全文連接】：http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/004060909390408H

    【序號】：4

    【作者】：Qi-hua Fan, Hong-you Chen

    【篇名】：Effects of magneticfield on the targeterosion in the symmetricalmagnetsmagnetronsputteringmethod

    【期刊】： Thin Solid Films

    【全文連接】：http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/004060909390356T

    【序號】：5

    【作者】： Fan, Qihua

    【篇名】：Uniformity of targets erosion and magnetic film thickness distribution in the target‐facing‐type sputtering method

    【期刊】： Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films

    【全文連接】：http://ieeexplore.ieee.org/xpl/login.jsp?tp=&arnumber=4928720&url=http%3A%2F%2Fieeexplore.ieee.org%2Fxpls%2Fabs_all.jsp%3Farnumber%3D4928720
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