气相色谱（GC）
请教大家对多晶硅还原进气和尾气都是用什么分析的。用什么取样装置呢？
nokia121
第1楼2012/06/15
分析的是什么物质啊 sihcl 这类物质吗TCD DC550 OK
liaohongmei011
第2楼2012/06/19
还原炉尾气温度高如何取得真实样品。
sodaba
第3楼2012/06/20
你采用的是西门子法吗？回收气可以采用GC-TCD分析，柱子采用弱极性的DB-1701.因为你的为尾气里有H2，三氯氢硅，HCL以及一些烷烃。采样的话就采用锡箔袋吧！ 有些厂家采用的在线分析。
第4楼2012/06/20
请问标准气用的是什么呢？
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