离子泵断电

看一下PIG1和PIG2的数值是否为32。

在哪里看呢？小屏幕么？第几页

不要插加热棒，直接ACD heat

最近我这的电镜真空度也相当差，都接近3了，3.5的话，就不建议开灯丝了，再差的话，离子泵就会自动off点的，达到一定值后才会启动

你的用的是2010吧

是2010，可是没有ACD heat 按钮，只有ACD和BEAK钮，怎么操作还望详谈，非常感谢大家的及时回复

也就是你所说的ACD钮，这是除污装置，加入液氮后需要将剩余的液氮通过插入加热棒ACD烘烤处理掉，否则会严重影响离子泵

在没有液氮的情况，不加加热棒，直接点击ACD，离子泵会停止工作，2h后就会正常工作，如果还是不行，可以再来一次


但是如果一直没有什么效果的话，建议联系工程师

多次按照工程师的指导进行处理，结果不行，需要日本电子现场诊断，费用要5000元，真是贵，只是诊断一下，工程师电话中估计是离子泵寿命到了，更换一个离子泵费用在10万元以上，实在是贵，经费紧张，要拖很久才有经费，所以哪位大侠有没有什么办法指导维修下离子泵，个人觉得7年换一个离子泵有点负担不起，不知道国内有没有人维修？

如果过了保修日期，找工程师现场诊断费用的确不便宜，就是私人办的，貌似也便宜不了多少

真空如果能上去，离子泵坏的可能性不大啊，房间湿度温度降下来再bake一次试试吧
每个厂家更换泵都不便宜啊，听说有的单位4年换一个分子泵9万