仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯
立即体验
当前位置： 仪器社区 >显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS） > 帖子详情

场发射电镜 低真空压力的疑问

  • Ins_29afefdd
    2022/04/13
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 材料行业，金属、非金属、半导体都会涉及。小弟最近正在调研扫描电镜 ，设备厂家提供的设备参数不同厂家的低真空功能给的真空度范围有一定的差异。范围窄的像蔡司的2-133Pa,中等的像日立10-300Pa，高的像FEI的10-500Pa。有几个疑问请教大家：
    1.不知大家平时低真空常用的真空度是多少？
    2.像蔡司的133Pa满足的了平时需求吗？
    3.300~500Pa的真空度会用得到吗？
    4.好像只有蔡司sigma 300这台设备最低可以到2Pa,其他家最低都是10Pa。这个2Pa的不知有什么意义，2Pa能看的图像，10Pa是不是也能看，且图像质量差异不大？
相关话题
    +关注 私聊

  • 123

    第1楼2022/04/13

    应助达人

    聚合物在VP模式下12KV/43Pa（BSE图象）；半导体材料10KV/20Pa（BSE图象）。这只是我看到的一些资料上的特定材质的选用电压/压力关系。具体的还是需要自己根据特定材料调节。一般靠点经验，但是，真空度越低，分辨率就会下降

0
    +关注 私聊

  • 第2楼2022/04/14

    材料行业，金属、非金属、半导体这些应该都不涉及到低真空吧？个人感觉VP光阑很积累，与电镜的高分辨是矛盾的。

0
近期热榜
热门活动
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐

品牌合作伙伴

岛津
岛津
日立科学仪器
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
日本电子株式会社
丹纳赫
丹纳赫
安捷伦
安捷伦
赛默飞世尔科技
赛默飞世尔科技
普析通用
普析通用
欧波同
欧波同
天美
天美
天瑞仪器
天瑞仪器
德国耶拿
德国耶拿
海能技术
海能技术
马尔文帕纳科
马尔文帕纳科
磐诺科技
磐诺科技
上海仪电科仪
上海仪电科仪
梅特勒托利多
梅特勒托利多
聚光科技
聚光科技
莱伯泰科
莱伯泰科
盛瀚
盛瀚
多宁生物
多宁生物
丹东百特
丹东百特
科哲
科哲
卓立汉光
卓立汉光
屹尧科技
屹尧科技
华谱科仪
华谱科仪
宝德仪器
宝德仪器
优莱博
优莱博
HORIBA
HORIBA
布鲁克核磁
布鲁克核磁
举报帖子

执行举报

点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...