三灬
第9楼2014/09/02
谢谢大家的意见,问题已经发现,是出在隔垫吹扫那里,正常仪器设置的3ml/min,但是设置柱箱温度为40℃时只能达到2.8ml/min,仪器会自动默认漏气,所以会关闭载气,但是升高柱箱温度如70℃隔垫吹扫能达到正常3ml/min,按我的理解,隔垫吹扫那里堵塞的不是很严重升高柱箱温度后进样口压力升高能够冲开堵塞,使流量达到3ml/min,所以现在没办法,可能是隔垫吹扫部分的流量控制器坏了,现在只能调到2.5ml/min凑合用,毕竟换一个这个要1W多RMB。
要是领导批准过两天拆一下隔垫部分看看堵在那里,要是只是出口就好,如果不是只能先用到不能用了再换EPC