lohyz
第3楼2012/08/09
谢谢老师指教!
昨天试过gonio的auto calibration, 是在样品台拿出来的时候做的。奇怪的是并没有什么效果。
后来尝试把Y轴负1200设为0点,尝试向正极限移动,奇怪的是移动到Y的正3000还是没有到极限。
这里就有一个问题,软件极限和机械极限是一样的么?如果一样不是应该到2400左右就停了吗,还是说正Y的sensor坏掉了?(这里不太懂他的机械原理……在stage limit 里面会亮红灯照这个来说似乎是有的吧?:))
如果不一样,那么通过最大行程确定中心点似乎不那么容易了
不过似乎手动确认中心点是个不错的办法,虽然会有误差
拜谢!
lohyz
第4楼2012/08/09
谢谢这位老师分享经验!
昨天尝试把Y轴负1200设为0点,向正极限移动,奇怪的是移动到Y的正3000还是没有到极限。这里就有一个问题,软件极限和机械极限是一样的么?如果一样不是应该到2400左右就停了吗,还是说正Y的sensor坏掉了?
lohyz
第7楼2012/08/09
刚才大概试了一下,过程如下
首先将样品的洞对中,误差基本在0.1mm吧,肉眼
插入样品台,找到洞,显示坐标在Y轴负1100
使用gonio将此点设为0点后
尝试前后移动样品台,发现在Y轴负100处坐标值变成黄色报警
取出样品台,执行auto calibration后,再插入,发现样品回到了原来的位置(距离beam约1000μm)
我觉得会不会是机械传动的坐标偏离了原来的位置,需要手动调整?
请各位老师龙意天裁Orz
lohyz
第10楼2012/08/10
当时是把近似中心点设为零点后,无法向Y轴负方向移动(达到limit,数字变黄色了……),所以才取出样品台尝试自动校正的。
我觉得里面的情况是这样的:
今天联系了工程师,下周一来……到时候看看工程师怎么修的,可能的话照点照片传上来
再次拜谢老师的指导:)