能用XRF测微量元素吗？

都可以,看你对其速度快慢了,快的用XRF,XRF很方便,快速,还有就是要看你的含量

X荧光真的像有些公司说得那样，精度可以达到亚PPM级，对样品不要求均质，且重复性高，结果可靠吗？那还要原子吸收做什么？

按一个工程师的话来说，XRF最适合做常量分析，但仪器也是能做到ppm级别的，但是对仪器的寿命有很大的影响，因为这不是它的长项。你有其他的仪器能做到ppm，而且精确度更好，为什么还要用荧光来做呢？如果只需要做到小数点后两位，你却让仪器做到小数点后6位7位，这有意义么？

如果需要精度高的话,还是花点精力,用ICP好!
XRF用于含量分析,需要考虑到它的局限性。

对于精挑细选的样品，它是可以达到的。但是，遗憾的是，现实中的样品您无法做到精挑细选。
可以看一下IEC 62321里面的有关ERF的局限性的描述。