ICP频繁熄火

应助达人

ICP点火很困难，每回都要点火五六次，是从装机后，还最近一锻时间？
LZ需要检查下，氩气纯度是多少，氩气的压力是否符合仪器要求。

应助达人

这样的话楼主仪器一些核心部件诸如RF功率管有问题了？若其他条件都OK的话

先检查中心管和雾化器通路有没有堵塞情况，换换氩气试试。还有不知道该仪器有没有风速、冷却水、等离子监测等传感器连锁，是不是某个条件处于仪器工作的临界状态？如果这些都确认没有问题八成是RF发生器故障了。

可能是功率管老化了 功率不稳定 不正常

也有可能是你的仪器管路漏气太严重了，我之前用的是瓦里安的ICP，也碰到过你这种情况，仪器点火之后一两个小时就熄火，有时候点几次火才能点着，开始怀疑是鼓风系统有问题，就把鼓风系统清洗过一遍还是有问题，一个偶然的时候发现矩室里面那截管路居然漏气，立马换过新的，点火，一切正常了。

有一种简单的情况,就是探头脏了,我也碰见过,调高了RF功率刚开始还行,一个星期后又开始频繁熄火,以为要换几万元的RF了,或者线圈了,后来高人指点了下找了张面巾纸找到角落里的探头擦了下,至今半年好好的.

如氩气纯度，压力，探头等都没问题，的考虑你的进样系统和矩管一块是否有漏气的？

检查一下空压机连着仪器的两级气液分离器中是否有水了。要及时倒掉。

设备没给什么提示吗?