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放电严重怎么办?---关于制备表面坑坑凹凹的样品

  • tongtianke
    2006/01/13
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 在使用能谱分析成分时,经常接到一些表面坑坑凹凹的样品,这种样品在蒸金后做SEM时,往往放电严重,使得图象不够好,甚至不清楚,请问大家有没有什么好办法解决这个问题。
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  • 萧文

    第1楼2006/01/13

    这种情况应该是镀金没有连续造成的,看能否将样品磨平。

    tongtianke 发表:在使用能谱分析成分时,经常接到一些表面坑坑凹凹的样品,这种样品在蒸金后做SEM时,往往放电严重,使得图象不够好,甚至不清楚,请问大家有没有什么好办法解决这个问题。

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  • tongtianke

    第2楼2006/01/13

    那样品是不能破坏的,也不能磨平,我们也没有离子溅射仪,可能用离子溅射仪会好一点,我们用蒸镀仪,但不知道有没有不破坏样品的其他办法,

    SeanWen 发表:这种情况应该是镀金没有连续造成的,看能否将样品磨平。

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  • sunnysky

    第3楼2006/01/19

    可将样品台多倾斜几个方向,多蒸几次会好一点

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  • 期待冬眠的熊

    第4楼2006/01/19

    要不多蒸镀两次吧?不过这样的话可能显示效果要差些。

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  • tongtianke

    第5楼2006/01/19

    哦,谢谢!请问如果倾斜的话,是样品高的那一端电荷积聚较多,还是低的一端电荷积聚较多.

    sunnysky 发表:可将样品台多倾斜几个方向,多蒸几次会好一点

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  • darkeye

    第6楼2006/01/19

    要说蒸镀效果要好于溅射,应该是凹地方充电吧.多蒸些时间效果可以改善.
    制样也是学问呀,总结多了也可以发表论文的

    tongtianke 发表:在使用能谱分析成分时,经常接到一些表面坑坑凹凹的样品,这种样品在蒸金后做SEM时,往往放电严重,使得图象不够好,甚至不清楚,请问大家有没有什么好办法解决这个问题。

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  • tongtianke

    第7楼2006/01/20

    呵呵,我们单位是禁止发表任何论文的,尤其是我们产品相关的论文更是禁止,领导明言禁止,谁敢往枪口上撞?

    darkeye 发表:要说蒸镀效果要好于溅射,应该是凹地方充电吧.多蒸些时间效果可以改善.
    制样也是学问呀,总结多了也可以发表论文的

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  • 奔跑的蜗牛

    第8楼2006/01/23

    喷金仪不好使而已.换一台进口的就好了,最好是BAL-TECH的或是GATAN的,不过贵了一点.

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  • 共工

    第9楼2006/01/24

    这是经典话题, 能谱定性定量在 高形貌 样本上 是不可能准确的, 即使镀金也无济于事, 因为不是只由于 放电的原因, 最主要的是X射线的遮挡反射, 背散射电子的 多次散射等等。
    所以要精确能谱结果, 只能将样本磨平, 如果样本不能损坏的话,最好不要依赖定量结果。
    还有,样本镀金 后看能谱, 我想只能看到金, 呵呵

    tongtianke 发表:在使用能谱分析成分时,经常接到一些表面坑坑凹凹的样品,这种样品在蒸金后做SEM时,往往放电严重,使得图象不够好,甚至不清楚,请问大家有没有什么好办法解决这个问题。

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  • saintchen

    第10楼2006/01/25

    赞!不过,最后一句不敢苟同。那也要看镀金的层厚了。镀金肯定会影响能谱分析的。影响到什么程度(比如会影响哪些元素、会不会背底有影响等等),我就不知道了,高手们指点指点?拜托了

    renxin 发表:这是经典话题, 能谱定性定量在 高形貌 样本上 是不可能准确的, 即使镀金也无济于事, 因为不是只由于 放电的原因, 最主要的是X射线的遮挡反射, 背散射电子的 多次散射等等。
    所以要精确能谱结果, 只能将样本磨平, 如果样本不能损坏的话,最好不要依赖定量结果。
    还有,样本镀金 后看能谱, 我想只能看到金, 呵呵

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