日立S4800能谱不能线扫和区域扫描

配的哪个能谱？EDAX，Oxford或者BRUKER的打电话给能谱工程师，HORIBA的打电话给天美的电镜工程师，这样比较快。

能谱能采集图像么？

线扫和面扫在4800上是不好实现的
即使能做，面扫的时间应该也会很恐怖的长
和产品设计原理有关

要看样品和要求目标，面扫在几分钟是可以实现的。

情况可以说的在具体点吗？难道是软件的问题？

是产品设计问题！

这个很大程度和能谱有关

国内200多台日立S-4800冷场发射扫描电镜中90%都安装了能谱仪，都在正常使用线扫描和面扫描功能，在束流调的得比较大的情况下，采集计数率可以轻松达到2万CPS以上，不知您所说的“产品设计原理有关”指的是那方面？

下面这张漂亮的面扫描实验结果，加速电压仅为5kV，空间分辨率80nm以上，也是日立冷场扫描电镜做的，供参考：

你是老思想，老概念。

现在能谱探头已经到了80MM2以上了，处理时间也上去了，所以现在做一切问题都没有。

由于冷场电子束亮度大会使得能谱的空间分辨能力也要强于热场做的MAPPING。

即便在我这30MM3的探头也能轻松实现线扫和面扫，我提供过这样的结果。

http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20100503/2534291/index_20.shtml。