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为什么我拍的高于10万倍的图片边缘总有毛刺?

  • yangyouran
    2013/05/09
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们的电镜是日立S4800,放置在一楼,下垫德国某品牌的减震台。但是拍摄出来的图片中颗粒边缘总有毛刺,尤其是10万倍以上非常明显。例如下图是喷金后的颗粒形貌,颗粒边缘有很多横着的小细纹。我怕受震动和磁场的影响,拍摄时减震台已打开,并且在不同电压下拍摄均有类似毛刺。请问大家知道是为什么吗?该如何避免?

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  • 天黑请闭眼

    第1楼2013/05/09

    怎么感觉样品有轻微晃动呢....

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  • xuzong

    第2楼2013/05/09

    请问除了U探头有毛刺之外,其他探头拍图的时候是否也有毛刺吗?
    把高压关掉,慢扫描的时候,会不会有毛刺?

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  • yangyouran

    第3楼2013/05/09

    Up、Mix探头是有毛刺的,Low探头因为20万倍调不清楚,所以没试过。

    我试了好几个电压,1KV、5KV、10KV都有毛刺,慢扫描也是有毛刺。

    xuzong(xuzong) 发表:请问除了U探头有毛刺之外,其他探头拍图的时候是否也有毛刺吗?
    把高压关掉,慢扫描的时候,会不会有毛刺?

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  • fengyonghe

    第4楼2013/05/09

    是高压发生器频率飘逸造成的。在观察二次电子像的条件下关掉电子束观察屏幕若有斜纹干扰即可断定高压发生器频率飘逸。需用示波器进行校正。

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  • jmijmlgddh

    第5楼2013/05/09

    之前都没有吗?

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  • yangyouran

    第6楼2013/05/10

    请问老师,怎么关掉电子束观察屏幕啊?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:是高压发生器频率飘逸造成的。在观察二次电子像的条件下关掉电子束观察屏幕若有斜纹干扰即可断定高压发生器频率飘逸。需用示波器进行校正。

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  • yangyouran

    第7楼2013/05/10

    机器使用一年半了,刚安装完成拍验收照片的时候是正常的,这两个月才发现的。

    jmijmlgddh(jmijmlgddh) 发表:之前都没有吗?

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  • welsey

    第8楼2013/05/10

    用了一年半,厂商来做过保养吗?另外,200K,WD可以在小点试试

    yangyouran(yangyouran) 发表:机器使用一年半了,刚安装完成拍验收照片的时候是正常的,这两个月才发现的。

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  • yangyouran

    第10楼2013/05/10

    没有,总觉得stage lock没啥作用,下次我试试。

    welsey(welsey) 发表:STAGE LOCK试过吗?

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