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请问 有人做过氧化亚铜的深度剖析吗?是不是刻蚀速率很慢

XPS及其它能谱仪

  • 同样的操作参数我做ZnO膜刻蚀大约2nm/min,但是一个据说是几十nm厚的氧化亚铜层刻了将近100min也没刻完,不知是不是这种材料比较难于刻蚀呀?多谢
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  • feixiong5134

    第2楼2006/07/08

    我上一次做标样刻蚀了近1.5个小时。

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