气相做氟气·氟化硅·氟化氢

六通阀通常是不锈钢的，又不是玻璃，应该不会被腐蚀的很厉害。
但是如果是毛细柱的话，石英毛细柱会被腐蚀。
玻璃填充柱也会被腐蚀。
进样口玻璃衬管也会被腐蚀。
如果是用FID检测器的话，石英喷嘴也会被腐蚀

另外氟化氢无论如何是显酸性的，对气相任何部件肯定都不好。

看样子还是别用气相做了，把机器整坏了

做课题的话用一到两次就可以了 应该不容易坏吧 用TCD做的

应助达人

最好不用GC分析。

先要知道都有哪些气体，大致含量是多少，看看通过预处理系统能不能脱掉，然后再进色谱应该会好很多吧

是分析高纯气中的氟类杂质还是氟类气体中H2,O2,N2...？可以选用哈氏合金或蒙乃尔合同材质的气路系统通过切割或反吹应该能把大部分腐蚀性气体切掉吧

应助达人

具体是哪些物质呢？