仪器信息网APP

选仪器、听讲座、看资讯

立即体验

当前位置：仪器社区 >显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS） > 帖子详情

FEI扫描电镜的HR聚焦问题

liuyy1976

2013/06/24

扫描电镜（SEM/EDS）

各位好，我们这里有一台FEI nova650的扫描电镜，前一阵冷水机的水泵突然出现了问题，换了一个水泵后冷水机工作正常了，但是电镜HR模式不能聚焦，厂家工程师过来检测了一下，说控制HR聚焦的电路板子被烧掉了。换一块板子很贵（买了电镜1年半），请问各位大侠有碰到过类似问题的吗？我们第一次遇到这种问题，本来以为电镜的寿命很长很长，应该怎么办呢？谢谢！

相关话题

小M

第1楼2013/06/24

应助达人

电镜的寿命不会很长，需要经常维护，换这换那的。除非低频率的用，出问题的机会就稍微少一点。

0

小M

第2楼2013/06/24

应助达人

至于怎么办嘛，找FEI换一块电路板吧

0

fengyonghe

第3楼2013/06/24

对于不采用扩散泵的扫描电镜来说，冷水机是用来冷却什么部件的？和板子烧了有关系吗？

0

kfcontrol

第4楼2013/06/25

冷水机除了冷却分子泵，电路板也是靠水冷的。。。工程师老说要我们把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃，就是为了防止静电和短路，水系统是经过电路板子的。。。有空我给你上图。。。
fengyonghe(fengyonghe) 发表:对于不采用扩散泵的扫描电镜来说，冷水机是用来冷却什么部件的？和板子烧了有关系吗？

0

fengyonghe

第5楼2013/06/25

如此说来把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃是有道理的，过高的室温会使板子形成冷凝水而短路，过低的室温会使板子过分干燥出现静电。
kfcontrol(kfcontrol) 发表:冷水机除了冷却分子泵，电路板也是靠水冷的。。。工程师老说要我们把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃，就是为了防止静电和短路，水系统是经过电路板子的。。。有空我给你上图。。。

0

cvbs11

第6楼2013/06/27

我也是这么看的，但是Zeiss的有位资深工程师说电镜的性能和使用频率无关，这话我就没发认同。做的频率高肯定容易出问题，我这里的FEI电镜去年DS/GS板子烧坏了，今年MOTOR又坏了，每次都是花好几万，用FEI的设备伤不起啊
小M(mitchell_dyzy) 发表:电镜的寿命不会很长，需要经常维护，换这换那的。除非低频率的用，出问题的机会就稍微少一点。

0

小M

第7楼2013/06/27

应助达人

彼此彼此，现在真不敢坏，坏了修不起
cvbs11(cvbs11) 发表:我也是这么看的，但是Zeiss的有位资深工程师说电镜的性能和使用频率无关，这话我就没发认同。做的频率高肯定容易出问题，我这里的FEI电镜去年DS/GS板子烧坏了，今年MOTOR又坏了，每次都是花好几万，用FEI的设备伤不起啊

0

小M

第8楼2013/06/27

应助达人

看你的回复，我还以为又是你的设备出问题了呢，仔细一看，主贴楼主不是你……
kfcontrol(kfcontrol) 发表:冷水机除了冷却分子泵，电路板也是靠水冷的。。。工程师老说要我们把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃，就是为了防止静电和短路，水系统是经过电路板子的。。。有空我给你上图。。。

0

asahi42

第9楼2013/06/28

对于FEI的NNS系列，冷却水负责冷却TMP和物镜，和电路板冷却无关。而且水路和电路板较远，水温差关系不是特别大~
kfcontrol(kfcontrol) 发表:冷水机除了冷却分子泵，电路板也是靠水冷的。。。工程师老说要我们把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃，就是为了防止静电和短路，水系统是经过电路板子的。。。有空我给你上图。。。

0

liuyy1976

第10楼2013/07/15

楼上老师说的是对的，听FEI工程师说，冷却水分了三路：TMP HR UHR，HR和UHR好像是冷却物镜中的线圈的，如果冷却水有问题，会使线圈的温度升高，线圈的电阻降低，电流增大，我们这次坏的电路板好像是控制其中一组线圈的。具体情况我们其实也搞不清楚，但是电路板上虽然没有冷却水，但是和冷却水还是有关系的。唉，头疼！

0

查看更多

近期热榜

热门活动

猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐

品牌合作伙伴

日立科学仪器

珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）

珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）

日本电子株式会社

赛默飞世尔科技

马尔文帕纳科

上海仪电科仪

梅特勒托利多

布鲁克核磁

举报帖子

点赞用户

好友列表

加载中...

正在为您切换请稍后...