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RF功率越大，等离子体温度越高吗？

砂锅粥

2013/07/15

RF功率越大，等离子体温度越高吗？

分
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tang566

第1楼2013/07/15

应助达人

在其它条件不变的情况下，功率高，温度高。

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依风1986

第2楼2013/07/15

应助达人

应该不是，功率要适用，功率大也会带来仪器部件承受能力

0

砂锅粥

第3楼2013/07/15

应助达人

不知1200W跟1300W温度相差大概多少？
tang566(tang566) 发表:在其它条件不变的情况下，功率高，温度高。

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砂锅粥

第4楼2013/07/15

应助达人

不考虑其它条件，只考虑功率跟温度的关系。是不是功率大，温度高？
依风1986(xurunjiao5339) 发表:应该不是，功率要适用，功率大也会带来仪器部件承受能力

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tang566

第5楼2013/07/15

应助达人

没有比对过。要想测等离子体中的温度有难度。
砂锅粥(czcht) 发表:不知1200W跟1300W温度相差大概多少？

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砂锅粥

第6楼2013/07/15

应助达人

普通用户想要测等离子体温度确实有点难度。可以参考此帖。http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20121001/4274410/
tang566(tang566) 发表:没有比对过。要想测等离子体中的温度有难度。

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abcpgf

第7楼2013/07/16

应助达人

还真没有测试过，不过我们用低功率的稳定性明显好很多。

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依风1986

第8楼2013/07/16

应助达人

长期高功率，仪器估计也经不起长期折腾
abcpgf(abcpgf) 发表:还真没有测试过，不过我们用低功率的稳定性明显好很多。

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关臣夕

第9楼2014/03/09

没错。RF功率越高，在负载相同的情况下，等离子温度越高。

参考：Inorganic Mass Spectrometry: Principles and Applications
作者：Sabine Becker

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