扫描电镜(SEM/EDS)
小M
第1楼2013/07/25
帮顶,日立的来看看
cvbs11
第2楼2013/07/26
请先做好机械对中再调整,步骤如下:这样就可以找到电子束斑了,以后要定期做Baking,做后都要做对中
Insp_1f4a0522
第3楼2019/05/02
您好!我也碰到了同样的现象,现在解决了吗?能分享您的解决办法吗?
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