如何判断场发射TEM 的电子束汇聚成最小了？

场发射没有荧光屏？2200F？

应助达人

DSTEM? 木有用过,mark之

你还没有聚到足够小，照明的范围超过了荧光屏的尺寸。降低放大倍数，继续聚焦电子束，直到你看见圆盘为止。FEI的电镜简单点，会显示你的照明范围。

你用的是什么型号的电镜？一般来说没有荧光屏的电镜都会有一个高dynamical range，high speed 的相机用来做alignment和电子衍射。如果你用bottom mounted 的高分辨相机（比如Gatan的ultrascan),你是没法做这个的，并且会损坏相机。另外也有可能你没有真正聚焦电子束，你可以试着调intensity lens的强度，从最小调到最大，这样无论如何你都会通过聚焦点。如果你用的是FEI电镜的话，我可以给你一个详细的操作说明。