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求助:能谱仪 死时间超高 !

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我的能谱仪这两天 不加偏压和束流,技术率达到几万,死时间达到100%,请问大家这是什么问题,是不是探头前放坏了? 谢谢指教!
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  • 共工

    第1楼2006/07/19

    是探头噪音问题, 是由于探头内部真空变坏造成的, 处理方法很简单,即将探头重新抽真空。
    绝对不需要将探头送回厂家修理, 也不需要更换任何零部件。

    leeeds 发表:我的能谱仪这两天 不加偏压和束流,技术率达到几万,死时间达到100%,请问大家这是什么问题,是不是探头前放坏了? 谢谢指教!

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  • R.F.L.

    第2楼2006/07/19

    谢谢指教!
    还得问个问题,在那里可以抽真空,大概的价格是多少,纯了真空的问题外,有没有可能是其他的问题?
    请原谅我这么白的问题!谢谢!~

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  • 共工

    第3楼2006/07/19

    不用请人抽真空,直接将真空管一端连接在 SEM 样本室后面的 接口,另一端接到 探头 中央的真空口上, 利用SEM的真空系统修复 探头的真空。
    九成以上是真空问题。

    leeeds 发表:谢谢指教!
    还得问个问题,在那里可以抽真空,大概的价格是多少,纯了真空的问题外,有没有可能是其他的问题?
    请原谅我这么白的问题!谢谢!~

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  • 德国工兵

    第4楼2006/07/20

    楼主如果自己要抽真空的话千万要小心,特别是把探头中的真空卸除的时候,一定要等探头没有液氮,完全干燥的时候再卸真空,否则里面的晶体和冷却杆都会结霜,到时候问题就严重了。还有真空不好的原因很多,如果是微漏自己抽真空可能会有效。

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  • 扫描电镜分析

    第5楼2006/07/26

    应先向厂商技术部门工程师咨询后定夺操作计划,起码要先问请操作注意事项。先确定问题的原因!

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  • 共工

    第6楼2006/07/27

    哪有这么悬,厂商大多夸张,为了是赚钱,要知道他们的利润可全在修探头上了。
    抽真空耗费厂商费用最小,因此这类的维修厂商最喜欢作,风险也小。

    dongfanghaoxia 发表:应先向厂商技术部门工程师咨询后定夺操作计划,起码要先问请操作注意事项。先确定问题的原因!

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  • 觉悟

    第7楼2006/07/29

    你就使坏吧!用户自己能干这活厂家就不会收这么多银子了。告诉大家,探测器抽真空是一个风险很高的工作。第一需要有专门的接口工具连接气路,并能够打开和关闭探测器上的抽气阀,否则打开容易,想关就不可能了;第二在抽真空的过程中不能突然掉电,否则前工尽弃是小,造成窗口破裂是大;第三探测器温度上升时放出的气体容易污染晶体和场效应管,造成性能下降,需要控制好放气量;第四抽真空时间不能少于七天,最好十四天,否则很快真空镀还会降低。而且,死时间变大的原因很多,武断地说是真空度的问题,是不可取的。检修设备也是一门技术,需要专门的知识和经验,需要对症修理。

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  • 共工

    第8楼2006/07/29

    什么叫使坏呢, 您这话说的。
    个人经验,我自己利用以上方法已经成功修复了五个探头,其中一个是BE窗的,其余四个都是 ATW的,探头寿命从两年到25年不等。
    不过我承认讲的不够细,原因是用户一般对自己维修很缺少信心,提醒他们风险很大只能加剧恐惧感,我之所以讲的有点直接,就是想鼓励大家,战略上要藐视敌人,不过您讲的更好,战术上要重视敌人。
    无论如何,使坏是不能接受的,看在您也是老人了,就不追究您道歉了

    renyi 发表:你就使坏吧!用户自己能干这活厂家就不会收这么多银子了。告诉大家,探测器抽真空是一个风险很高的工作。第一需要有专门的接口工具连接气路,并能够打开和关闭探测器上的抽气阀,否则打开容易,想关就不可能了;第二在抽真空的过程中不能突然掉电,否则前工尽弃是小,造成窗口破裂是大;第三探测器温度上升时放出的气体容易污染晶体和场效应管,造成性能下降,需要控制好放气量;第四抽真空时间不能少于七天,最好十四天,否则很快真空镀还会降低。而且,死时间变大的原因很多,武断地说是真空度的问题,是不可取的。检修设备也是一门技术,需要专门的知识和经验,需要对症修理。

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  • 共工

    第9楼2006/07/29

    再说两句,武断也是很激进的用词, 好像我只知道抽真空,但不知其所以然,其实这个判断是很严谨的,请再读楼主的原贴,仔细读
    液氮能谱探头老实讲,我拆过不下十五个,内部结构了如指掌,实际上是胆大心细的活,会者不难。
    这样吧,楼主或自己修,或请人修,请将结果公布出来,是否真空问题

    renxin 发表:什么叫使坏呢, 您这话说的。
    个人经验,我自己利用以上方法已经成功修复了五个探头,其中一个是BE窗的,其余四个都是 ATW的,探头寿命从两年到25年不等。
    不过我承认讲的不够细,原因是用户一般对自己维修很缺少信心,提醒他们风险很大只能加剧恐惧感,我之所以讲的有点直接,就是想鼓励大家,战略上要藐视敌人,不过您讲的更好,战术上要重视敌人。
    无论如何,使坏是不能接受的,看在您也是老人了,就不追究您道歉了

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  • forzamarco

    第10楼2006/07/31

    看高手发言进来学习一下,另想请教REXIN大侠一个,能谱仪的真空被破坏的原因主要有那些(我只见过ATW被抛光粉打破掉)?如果微漏的话重新抽好真空,要怎么做才保证其真空不再下降?

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