图像扫描到一半就变模糊了,怎么办?

哈哈，我还在想呢，前一半已经扫完了怎么还会变模糊，可真是个要命的问题。
不过单从解决问题的角度来说，楼主描述得还是不够详细，
比如说，
XL30束流是不是稳定，这可以从操作界面上读出来，
用的是不是环扫的机型，
做的样品导电性怎么样，
末级光阑换个新的会不会好些（如果有的话，呵呵，如果没有，则要看看衬管里面是不是应该清洗一下了）
样品是不是足够稳定（换个合适的导电样品试试）
在什么样的倍数下才会出现这种情况，还是多大倍数都是这样。
单从模糊来讲也要问一下：
您所讲的不清楚指的是很模糊，一点点，完全看不了，扭曲变形还是聚焦不正，亮度对比度有没有变化。
问题只是ETD还是BSED也有。
另外，问题是突然出现的，还是逐渐出现的，与此同时，是不是有其他伴随状况发生，比如有没有高压打火的声音，真空度发生变化没有。
在问题发生以后，有没有采取过什么措施，后来结果怎么样了。

总的来讲，我觉得要想真正能给一点帮助，这个问题的描述真的有点不够详细。


有点罗嗦，请见谅，呵呵