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关于E-1010离子溅射仪的问题

扫描电镜(SEM/EDS)

  • (1)在较长时间抽真空后,日立E-1010离子溅射仪的泵中的油大量进入样品室,然后漏进仪器里面,求原因?

    (2)仪器里面的油无法全部清理干净,继续进行喷镀,会有危险吗?
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  • 小不董

    第1楼2013/09/13

    应助达人

    危险的, 怎么可能让油进去了呢?
    溅射仪中要避免有机溶剂的,油也是易燃的呀,在放电的时候很危险的,虽然抽了真空,若你补充了惰性气体的才会危险小一点。

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  • 小不董

    第2楼2013/09/13

    应助达人

    泵坏了?看来要拆开才能把油清理干净了?

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  • hhurtb

    第3楼2013/09/13

    多谢!另外一同事用的时候出现的,也不知道原因。我确实不敢用。

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  • fengyonghe

    第4楼2013/09/14

    当停止抽气之后,泵的进气端是真空,出气端是大气压力。泵的设计上有单向阀用以防止油被吸入真空室。如果单向阀损坏,停机之后油就会被吸入真空室。讲究的设备会在关闭阀门和泵的进气端另外再加一个泄气阀。该阀门在停机之后手动打开,使泵的进气端和出气端同处于一个大气压,有效的防止了油被吸入真空室。

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  • 博远微纳

    第5楼2016/11/15

    博远微纳(中国)有限公司 创立于2004年,共有员工20余人,其中高级工程师8人,研发团队7人,是中国区第一家专注于研发、生产、销售溅射仪及扫描电镜的高新技术企业。公司集溅射仪,镀膜仪,扫描电镜,维护改造四位一体,拥有一支专业的工程师团队,并将溅射仪、镀膜仪系列产品的质量和性能提高到国际一流的水准。在过去的10多年间,博远微纳单在中国区已销售、服务超过1000位商业客户,累积销售近千台溅射仪、镀膜仪和扫描电镜等配套服务。

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