关于电镜分辨率计算问题！

1，

2，只在真空中传播不通过其他介质无所谓折射率。折射率说的是某种介质的折射率。

3，同一个光缆工作距离不同就有不同的孔径角，不同的光阑在不同的工作距离上也可以有相同的孔径角。

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2，只在真空中传播无所谓折射率，折射率说的是介质的折射率。

3，同一个光阑不同的工作距离有不同的孔径角，不同的光阑在不同的工作距离上也可以有相同的孔径角。

谢谢，楼上，很明白了！

那么，是不是在同一个光阑和相同加速电压下，缩短工作距离，分辨率降低？

还有，上面的公式中的电子折射率是多少啊？不明白？冯老师帮我！

冯老师来啊！

上面那个公式是针对光学显微镜的，α大则 r 小，分辨率高。在扫描电镜中最高分辨率理论上等于束斑直径。也不存在折射率。

gaominghen(gaominghen) 发表:那么，是不是在同一个光阑和相同加速电压下，缩短工作距离，分辨率降低？

楼上的观点实在不敢苟同！前面提到的这个公式仅仅是针对光学显微镜的吗？显然不是！扫描电镜的分辨率由四部分共同决定（高斯斑直径、色差最小弥散斑直径、球差最小弥散斑直径以及衍射限制直径），我这里发不了公式！前面提到的这个公式得出的叫diffraction limit diameter。因为光学显微镜用的可见光波长较长，这部分对光学显微镜的影响是巨大的，所以光学显微镜分辨率低。但是对扫描电镜而言，即使是1kV下的电子束波长也远远小于可见光波长，因此即使工作距离变小，透镜半张角略有增大，diffraction limit diameter的略微增加也不影响整个最终分辨率。但是工作距离减小，导致球差系数减小，这会显著降低球差弥散斑最小直径，这部分对扫描电镜分辨率的贡献要大得多，所以工作距离小，分辨率更高。另外真空中折射率n为1。

张大同书的第2页—第7页对这些问题讲的比你清楚，前面那个光学公式在扫描电镜中不知在哪个地方用过。看了你的回复后，我又重新看了一遍书，仍没有找到那个公式是如何使用的。你能否明示？

在扫描电镜中，极限分辨率等于束斑直径，在考虑到各种像差和像散之后，束斑直径与加速电压、束流、物镜张开半角之间的关系如下式：



更正系数：



公式中α是孔径半角。这个公式与光镜中分辨率和α的关系式完全不同。