日本电子 JSM-6701F 请教

SEM在工作状态下WD和Z应该被Link成一致，否则既不安全，也不利于重复实验条件。
能谱要求大束流，大束流的代价是牺牲分辨率，因此不能指望在做能谱的条件下高倍得到理想的SEM照片。另外，因为能谱空间分辨率很差，2W倍的照片的能谱点分析没有什么可信度。

WD和Z轴不一致，这种现象是电镜的问题吗？我需要怎样调试呀？请指教

Z是一个机械值，WD是一个电气值，SEM一般有一个“link”键，可以让这两个数字等值。JSM的机器可能不叫这个名字，但是功能肯定有~

每一个品牌的能谱都有一个规定的工作距离，离开这个工作距离越大计数率下降越多。定点分析时在试场中所看到的质点大小还是有要求的，主要是考虑到电子束在样品中的扩散。下面三种物质是我算出来的，你参考吧。



在20000倍下直径要乘上20，能谱定点才能可靠。

如果没记错的话，6701能谱的工作距离是15mm，在这个工作距离下能谱采集效率是最高的。该设备做能谱时必须要在这个工作距离下操作，所以如果你的工作距离偏离它，当然采集效率低！这么大的工作距离，6701两万倍还是可以清楚的，更大倍率有些麻烦！
楼上计算了一大堆，有些看不明白！激发直径是用蒙特卡罗模拟计算的吗？考虑的是单质元素？还有什么是所需的有效放大倍率和1000倍下的直径，另外，为什么在20000倍下直径要乘以20，定点才可靠？如果采用蒙特卡罗模拟，电子束最大扩展范围就是能谱能分析的最小范围啊

出现工作距离和Z值显示不一样的问题是因为样品高出或者低于样品台的表面很多，高出来只要不碰到极靴问题不大，如果样品最表面低于样品台的表面特征X射线就可能被挡住，所以效率也低

我的能谱在工作距离为15mm，采集效率低，在9.6mm的时候反而高，我已经试过很多样品都是这样的，好奇怪！

按你前面的说法“做能谱的时候当WD和Z距离基本一致，且图像调清楚时，从8-15mm任何位置的采集速率都很低。但当WD与Z位置不一致，相差2-5mm时，图像也能调清楚，但此时的采集速率可以满足能谱的要求，不知是为什么？”，现在你的提法是工作距离9.6mm效率很高，这似乎有矛盾的地方！这涉及到两个问题，一个是在其他工作距离时采集效率都低，只是9.6mm时高；另一个是WD和Z位置不一致导致的效率高，相同的时候反而低。如果是前个问题，可能是能谱探头的位置可能有点问题；第二个问题呢？请确认一下你的样品是否和样品台平齐，然后我们再仔细讨论这个问题。因为wd和z不一致，应该是由于样品和样品台高度不一致导致的。

按你前面的说法“做能谱的时候当WD和Z距离基本一致，且图像调清楚时，从8-15mm任何位置的采集速率都很低。但当WD与Z位置不一致，相差2-5mm时，图像也能调清楚，但此时的采集速率可以满足能谱的要求，不知是为什么？”，现在你的提法是工作距离9.6mm效率很高，这似乎有矛盾的地方！这涉及到两个问题，一个是在其他工作距离时采集效率都低，只是9.6mm时高；另一个是WD和Z位置不一致导致的效率高，相同的时候反而低。如果是前个问题，可能是能谱探头的位置可能有点问题；第二个问题呢？请确认一下你的样品是否和样品台平齐，然后我们再仔细讨论这个问题。因为wd和z不一致，应该是由于样品和样品台高度不一致导致的。