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[help]用何种机台量测EPI的厚度

RoHS/WEEE指令

  • Sub(硅衬底)+EPI，期间注入NBL．现要测量EPI的厚度．层次之间很难看出明显的界限．请问，用什么机台可以测量得出EPI的厚度呢？
相关话题
    +关注 私聊

  • sinfasam

    第1楼2006/08/08

    怎么到现在都没人反应的啊！！！

0
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  • SOMS课题组

    第2楼2006/08/08

    超声波测厚仪应该可以测

0
    +关注 私聊

  • sinfasam

    第3楼2006/08/10

    厚度是微米级别的，也可以吗？

0
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