表界面物性测试
sxwuhe
第1楼2014/01/27
共聚焦显微镜貌似都行
欧库睿因
第2楼2014/04/03
成像椭偏仪可实现非接触式表面三维形状测量。现在的技术可实现垂直方向精度0.1纳米，X.Y方向精度1微米。不知道你需要在什么环境下测量？为什么需要非接触式？固态？液态？液相表面or内部？保护气or真空？
第3楼2014/04/03
SAEDing
第4楼2014/08/28
ZYGO白光干涉仪！测量精度纳米计算的。Z轴绝对达到你的要求这个一般实验室没有，我在TDK实验室，最常用的就是这个。
稻花田里看天鹅
第5楼2015/05/21
Alicona 三维形貌测量仪也可以，你可以百度下，精度绝对满足，而且对最适合复杂的样品形貌。
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