扫描电镜（SEM/EDS）
aimin1212
第1楼2013/11/18
是样品台移动不了了吗？我又一次也是这种情况，有时候温度湿度不合适也会影响，我是隔天重启就好了
胖胖熊
第2楼2013/11/18
我是重启就好了，湿度影响挺大的
sept
第3楼2013/11/18
看一下是不是哪里档住了，或者卡住了。人家都报警了嘛，就拉开看看。不行就联系工程师最好了
unht
第4楼2013/11/19
问题解决了
扫描新手一
第5楼2013/12/02
我估计是不是样品尺寸过大，或者样品台装的太紧太松，或者自动调焦错误导致工作距离不正确
zjupengyu
第6楼2013/12/02
请问如何解决的？？我这不也时常出现touch alarm的警告，但是不影响使用，所以也就无视了~~
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，做Home Stage做不了重启过几次电镜，没什么作用
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