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扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们用的是S-3000N扫描电镜,现在分析的时候为什么开到2小时左右电流就一直下降?一般换过灯丝之后电流在90uA左右但是一直降直到烧断为止,现在初步可以断定的是真空度可能有问题,但是具体的还要请各位详细说说?
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  • 共工

    第1楼2006/08/06

    我说不管用, 你得告诉我, 真空读数是多少,多长时间抽真空,等等。
    你提供的参数太少, 这说明你 只盯着那个电流读数不放,思路不够开阔,还有要静心。

    zhengzilong 发表:我们用的是S-3000N扫描电镜,现在分析的时候为什么开到2小时左右电流就一直下降?一般换过灯丝之后电流在90uA左右但是一直降直到烧断为止,现在初步可以断定的是真空度可能有问题,但是具体的还要请各位详细说说?

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  • easuz

    第2楼2006/08/07

    我想也是真空的问题,是不是密封圈太干的原因?

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  • 扫描电镜分析

    第3楼2006/08/07

    比如原来30分钟可以达到理想真空度,现在1小时也不行,那肯定是管道有漏气的地方或泵有问题了。
    看看管路有没有老化的地方,或泵油不够了,当然密封圈也要查。
    请先回忆一下,最近有没有动过什么地方,如有的话,先从那个地方下手查。
    查时,可先抽真空到比较高的状态,一个人关注真空表头,看指示;另一个人用蘸了丙酮的纱布,在各个怀疑漏气的地方擦一擦,看真空表头指示是否有大的波动,有,则该处有问题。

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  • 龙在天

    第4楼2006/08/07

    我们真空状态在两分钟之内就可以达到要求,没什么问题,现在就是不明白还有哪里有问题?

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  • 共工

    第5楼2006/08/07

    可笑, 真空泄漏也可以达到真空没有问题, 这都不明白。
    抽真空时间= 抽气时间减漏气时间

    zhengzilong 发表:我们真空状态在两分钟之内就可以达到要求,没什么问题,现在就是不明白还有哪里有问题?

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  • 汉痞

    第6楼2006/08/07

    可以好好看下同类型的电镜。慢慢找,应该能解决的!

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  • 共工

    第7楼2006/08/07

    不信的话, 找到专业的 漏气测试仪, 能检测到 10E-009MBAR那种, 你会很吃惊地发现钨灯丝镜筒到处漏气, 最严重的漏气点在机械旋转泵的抽气管路上。
    吓人着呢

    renxin 发表:可笑, 真空泄漏也可以达到真空没有问题, 这都不明白。
    抽真空时间= 抽气时间减漏气时间

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  • sunnysky

    第8楼2006/08/08

    首先要确定是不是真空的问题,在电子枪附近接一个潘宁计,检测一下真空度是否达到要求,如果不是真空的问题,再查一下偏压系统,是否反馈失效

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  • 龙在天

    第9楼2006/08/08

    唉 真难搞啊 在说下去问题可能越说越多啊

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  • hangk2006

    第10楼2006/09/23

    查查你的真空,
    第一泵,第二阀门,第三真空显示

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