扫描电镜(SEM/EDS)
共工
第1楼2006/08/06
我说不管用, 你得告诉我, 真空读数是多少,多长时间抽真空,等等。你提供的参数太少, 这说明你 只盯着那个电流读数不放,思路不够开阔,还有要静心。
easuz
第2楼2006/08/07
我想也是真空的问题,是不是密封圈太干的原因?
扫描电镜分析
第3楼2006/08/07
比如原来30分钟可以达到理想真空度,现在1小时也不行,那肯定是管道有漏气的地方或泵有问题了。看看管路有没有老化的地方,或泵油不够了,当然密封圈也要查。请先回忆一下,最近有没有动过什么地方,如有的话,先从那个地方下手查。查时,可先抽真空到比较高的状态,一个人关注真空表头,看指示;另一个人用蘸了丙酮的纱布,在各个怀疑漏气的地方擦一擦,看真空表头指示是否有大的波动,有,则该处有问题。
龙在天
第4楼2006/08/07
我们真空状态在两分钟之内就可以达到要求,没什么问题,现在就是不明白还有哪里有问题?
第5楼2006/08/07
可笑, 真空泄漏也可以达到真空没有问题, 这都不明白。抽真空时间= 抽气时间减漏气时间
汉痞
第6楼2006/08/07
可以好好看下同类型的电镜。慢慢找,应该能解决的!
第7楼2006/08/07
不信的话, 找到专业的 漏气测试仪, 能检测到 10E-009MBAR那种, 你会很吃惊地发现钨灯丝镜筒到处漏气, 最严重的漏气点在机械旋转泵的抽气管路上。吓人着呢
sunnysky
第8楼2006/08/08
首先要确定是不是真空的问题,在电子枪附近接一个潘宁计,检测一下真空度是否达到要求,如果不是真空的问题,再查一下偏压系统,是否反馈失效
第9楼2006/08/08
唉 真难搞啊 在说下去问题可能越说越多啊
hangk2006
第10楼2006/09/23
查查你的真空,第一泵,第二阀门,第三真空显示
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